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用途：

測(cè)量型金相顯微鏡是一種兼顧影像、目視與奈米高度測(cè)量多用的高精度,、高效率測(cè)量?jī)x器。該產(chǎn)品具有電視成像與目視光學(xué)兩套瞄準(zhǔn)系統(tǒng),，可人工觀察金屬表面的金相組織結(jié)構(gòu)，是集光,、機(jī)、電,、算,、影像于一體的顯微鏡。該產(chǎn)品以二維測(cè)量為主,，也可作三維輔助測(cè)量,，廣泛應(yīng)用于電子組件、精密模具,、塑料,、PCB加工方面、鍍膜厚度,、手機(jī)玻璃等工業(yè)領(lǐng)域,。

特點(diǎn)：

1. Z軸光學(xué)尺分辨力為0.1μm

2. X、Y軸採(cǎi)用空氣軸承,、花崗石導(dǎo)向,，保證了機(jī)械系統(tǒng)的精確穩(wěn)定，提高了測(cè)量精度

3. X,、Y,、Z三軸伺服控制，定位精度高、速度快,，運(yùn)行平穩(wěn)

4. 同軸光/底光測(cè)量

5. 內(nèi)建偏光測(cè)量光學(xué)模塊

6. 自主開(kāi)發(fā)QMS3D-M軟體,，高清晰進(jìn)口1/2"彩色攝像機(jī)

7. 可通過(guò)激光指示器尋找被測(cè)工件的具體位置，可適應(yīng)復(fù)雜工件的測(cè)量

8. 可實(shí)現(xiàn)Z軸自動(dòng)對(duì)焦

9. 具有偏光和DIC檢測(cè)功能

10. 可搭配白光奈米檢測(cè)模塊測(cè)量奈米級(jí)厚度

技術(shù)規(guī)格參數(shù)：

型號(hào)		MTM-6090H
工作臺(tái)	玻璃臺(tái)尺寸(mm)	1070 x 640
	X,、Y軸運(yùn)動(dòng)行程(mm)	600 x 900
Z軸行程(mm)		200
外形尺寸(mm)		1800 x 1350 x 1450
儀器重量(kg)		1500
X,、Y軸光學(xué)尺分辨力(μm)		0.5
Z軸光學(xué)尺分辨力(μm)		0.1
示值誤差(μm)		E1XY=( 2.5+ L/200) μm  (L為測(cè)量長(zhǎng)度，單位mm)
物鏡放大倍數(shù)誤差		包括畸變?cè)趦?nèi)的放大率誤差≦0.08%
落射照明光源		可調(diào)高亮度鹵素?zé)?/DIV>
底光照明光源		可調(diào)高亮度LED燈源
		目視系統(tǒng)	影像系統(tǒng)
物鏡放大倍數(shù)		5X,、10X,、20X、50X(可選配100X)	5X,、10X,、20X、50X,；10X Mirau物鏡
目鏡放大倍數(shù)		10X雙鏡筒	1/2”CCD攝像機(jī)
視頻總倍率		50X ~500X	142.5X ~1425X (19.5”顯示器,，分辨率1440 x 900)